微波真空干燥設備零部件清洗方法的選擇對后續(xù)的干燥過程沒有影響。除了使用微波真空干燥設備零部件自身的加熱清洗流程中的對流干燥或循環(huán)利用熱空氣進行空氣干燥外，真空干燥也是微波真空干燥設備零部件干燥環(huán)節(jié)中一個有效且快速的方法。

微波真空干燥設備零部件通常在加工或打磨工作之后，或熱處理后進行清洗。清洗方法基本上可分為兩類：水溶液清洗和溶劑清洗。當然也有一些特殊的過程。選擇的清洗方法取決于多種因素。合適的清洗方法須根據(jù)微波真空干燥設備零件的材料，污垢的類型（不同類型的油、油脂、乳液、灰塵等）或部件的幾何形狀（表面結(jié)構(gòu)、孔、咬邊等）進行選擇。

對清潔后的微波真空干燥設備零部件進行隨后的干燥是必不可少的。因為在水性介質(zhì)的情況下，即使小的殘余水分也會對微波真空干燥設備造成腐蝕損壞，從而導致高昂的后續(xù)費用。未干燥的溶劑可導致工件被分解。對流干燥是簡單的干燥方法。組件在清洗過程中被加熱到70至80℃之間，使附著的水分蒸發(fā)。

循環(huán)空氣干燥是熱空氣在微波真空干燥設備零部件上方流動，致使水分蒸發(fā)。這兩種方法都適用于幾何形狀簡單的微波真空干燥設備零部件。而真空干燥是非�？煽壳矣行У模�它甚至可以保證幾何形狀復雜的微波真空干燥設備零件快速干燥，并且對于涉及水溶液和溶劑的清洗微波真空干燥設備零部件方法均可使用。